▍高精度MEMS谐振式压力传感器涉及电子、机械、材料、热学、力学、化学等多学科的复杂交互融合,涵盖基础理论、设计、工艺制程、封装测试、设备装备等多个产业链环节。
▍金天弘科技首席研发负责人朱博士
▍金天弘科技首席研发负责人朱博士介绍:万分级高精度MEMS谐振式压力传感器主要技术指标比传统应变式、压阻式、电容式等原理的压力传感器高1~2个数量级,且具有数字化输出、抗干扰、长寿命和抗辐照等优点,技术指标、稳定性、可靠性和环境适应性均达到国际先进水平。目前,该产品已应用于航空航天、飞行器压力监测、航空大气数据系统、高精度压力标定仪、弹道、高精度石油化工压力测量等领域。
▍航空航天应用-飞机攻角
▍中国计量院科学研究院的测试报告
▍从航天航空应用到民用市场全面拓展
金天弘科技大力推进万分级高精度MEMS谐振式压力传感器在海洋、气象、计量校准、过程工业、石油化工、能源等行业的产业化应用。目前,万分级高精度MEMS谐振式压力传感器已应用于海洋监测、气象观测等领域,为实现航天技术产业价值奠定了扎实的基础。
▍后续
金天弘科技将基于核心MEMS敏感芯片和传感器技术,进一步开发高端仪器和感知测量系统,形成“芯片+传感器+仪器+系统”的信息感知模式,推进产品谱系化、规模化、产业化发展。